基于积分终端滑模控制的MEMS振镜扫描方法及系统

本发明属于激光雷达扫描控制技术领域，公开了一种基于积分终端滑模控制的MEMS振镜扫描方法及系统，本发明方法通过构造积分终端滑模面并引入最小算子趋近律，使系统状态能够在有限步内收敛至滑模面，跟踪误差于有限步到达预设带宽内，即使在大角度、高速扫描工况下，仍能够实现高精度轨迹跟踪，且边缘无明显失真。此外，本发明方法还通过干扰观测器实时估计并补偿外部扰动，以降低滑模控制中切换项所需增益，通过干扰观测器对突发性扰动与周期性扰动进行在线估计与动态补偿，从而维持小稳态误差与相位稳定。在复合扰动等复杂场景下，本发明控制方法能够显著提升MEMS振镜的扫描精度与稳定性。