固晶方法、系统、固晶设备和可读存储介质

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固晶方法、系统、固晶设备和可读存储介质
申请号:CN202511576931
申请日期:2025-10-31
公开号:CN121035035A
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种固晶方法、系统、固晶设备和可读存储介质。应用于固晶装置,所述固晶装置包括成像组件、用于固定晶圆膜的固定组件和包括顶针的顶针组件,所述晶圆膜上设有多个待固晶的芯片;所述方法包括:控制所述顶针移动以对当前轮次的目标芯片进行固晶;所述当前轮次的目标芯片固晶后,获取所述成像组件的第一图片,并基于所述第一图片确定下一轮次的目标芯片的第一目标位置,并基于所述第一目标位置更新固晶路径信息;基于更新后的固晶路径信息,控制所述成像组件、所述顶针组件和所述固定组件进行移动,以进行下一轮次的目标芯片的固晶操作。本申请能提高固晶的精准度。
技术关键词
成像组件 顶针组件 芯片 图片 固晶装置 固晶方法 偏差 固晶设备 位置更新 固晶系统 标记 标识 基板 处理器 承载台 可读存储介质 影像 存储器 控制模块