MEMS机油压力传感器

本申请涉及一种MEMS机油压力传感器，包括：壳体组件，包括位于一端的第一开口；密封件，设于所述壳体内，并将所述壳体组件内部空间分割为相互独立的第一空间与第二空间，所述第一空间与所述第一开口连通；MEMS芯片，被配置为将环境压力转换为电信号，所述MEMS芯片设置在所述第一空间内；第一电路板，设置于所述第一空间内并与所述MEMS芯片电性连接；第二电路板，被配置为将电信号调校放大；所述第二电路板设置于所述第二空间内且与所述第一电路板电性连接；以及电连接件，插设于所述壳体组件上并与所述第二电路板电性连接。本申请实施例的一种MEMS机油压力传感器，具有体积较小的优点。