一电浆表面蚀刻工艺侦测装置

一种电浆表面蚀刻工艺侦测装置，其包括：一侦测载台，系用以侦测待测物的电浆表面蚀刻工艺状态；一侦测孔，该侦测孔置于该侦测载台任一位置上，该侦测孔在该侦测载台具有一深度；以及一侦测器，系置于该侦测孔内的至少一侧边；其中当该侦测载台进行侦测该待测物的表面蚀刻工艺状态时，该侦测孔对准侦测的待测物位置时，系利用置于该侦测孔内的该侦测器进行侦测该待测物的表面蚀刻工艺状态。