摘要
本发明公开了一种基于调制的叠层扫描成像系统及其操作方法,在相干衍射成像的光路中,CCD相机前固定一未知分布的调制器,通过叠层扫描或轴向扫描方法对被测物体及未知调制器的复振幅信息进行重构。CCD相机与调制器位置不变,控制二维移动台以一定步长移动对被测物体进行二维叠层扫描;被测物体与调制器位置不变,控制一维移动台以固定步长对CCD相机进行轴向叠层扫描。算法重构过程中。本发明在光路中加入调制器,获得更高的重建精度,对比CDI算法,通过加入了一个固定的精密未知调制器件,极大提高了相干衍射成像的分辨率。