摘要
公开了一种半导体处理组件(10)，具有：‑晶片搬运机器人(12)，其包括以末端执行器间距(EP)分布在基本竖直方向上的多个末端执行器(14)，并配置为运送晶片(80)；‑晶片舟(20)，其具有在基本竖直方向上分布的舟槽(46)，并配置为保持要以装载间距(LP)装载的晶片；‑晶片盒(40)，其具有以盒间距(CP)分布在基本竖直方向上的盒槽，并配置为保持晶片(80)；以及‑电子控制器(24)，用于控制至少晶片搬运机器人(12)并具有系统存储器(26)。通过使末端执行器间距(EP)基本等于盒间距(CP)，电子控制器(24)可以用其系统存储器中的程序进行配置和编程，以控制半导体处理组件(10)在晶片盒(40)的盒槽和晶片舟(20)的舟槽(46)之间转移晶片。
