基板处理系统及基板处理方法

本发明涉及基板处理系统及基板处理方法。基板处理系统的控制部控制升降机，进行使铅垂姿势的多张基板浸渍在药液处理槽内的药液中的第一次批处理。控制部控制第二姿势转换机构，使进行第一次批处理后的多张基板绕水平轴旋转，由此使铅垂姿势的多张基板上下反转。控制部控制升降机，进行使铅垂姿势的上下反转后的多张基板浸渍在药液处理槽内的药液中的第二次批处理。