一种多功能自动化半导体设备系统

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一种多功能自动化半导体设备系统
申请号:CN202411893948
申请日期:2024-12-20
公开号:CN119456476A
公开日期:2025-02-18
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种多功能自动化半导体设备系统,包括成品检测机构和成品打包机构,成品检测机构的输出端与成品打包机构的输入端相连接;成品检测机构包括上料模块、移动模块、检测模块、下料模块和控制模块,移动模块用于移动成品至检测模块或下料模块,检测模块用于对成品进行测试,检测模块与控制模块电连接,控制模块与下料模块电连接,下料模块用于对成品进行分类,并将合格品运输至成品打包机构。本发明不仅大大降低生产成本提高生产效率,而且提高了产品检测标准,测试数据实现系统收集可追溯,简化了市场失效分析流程,保证产品可靠性,解决了传统生产线上的不同测试环节需要不同的设备来完成,效率低下的问题。
技术关键词
半导体设备系统 多功能自动化 合格品输送装置 成品检测机构 下料模块 打包机构 绝缘耐压测试装置 电参数测试装置 分拣组件 控制模块 分拣机械手 激光打标装置 视觉检测装置 机械臂 制冷装置 上料 气缸 导轨
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