水平腔面激光器的测试方法以及制作方法

本发明涉及一种水平腔面激光器的测试方法，包括如下步骤：S1，在外延结构上制作出光面；S2，接着在外延结构上切割形成倾斜面，倾斜面朝向出光面；S3，在倾斜面上镀膜，以倾斜面作为出光面发射激光的反射面，反射面将激光反射至外延结构外；S4，收集反射至外延结构外的激光并对其进行分析，以判断流片前的芯片是否合格。还提供一种水平腔面激光器的制作方法，采用上述的测试方法。本发明通过制作可以将从出光面发射的激光反射至外延结构外的反射面，就可以在晶圆级直接表征激光器的材料增益、中心波长、接触电阻、阈值等关键参数，不需要制作出成品激光器芯片再进行测试。