一种芯片全自动筛选、检测及打包机台

本发明公开了一种芯片全自动筛选、检测及打包机台，其全自动送料，且对芯片全面进行检测，确保筛选后的芯片质量稳定可靠。其包括：wafer上下料模块，其包括第一天车对接平台、wafer搬运机械臂、晶圆工作台；芯片搬运及检测模块，其由三组定位相机、转塔搬运机构、中转校正机构、5S检测机构组成；Tray工作台模组，其包括两个Tray工作台、正面AOI视觉检测机构组成；芯片整合及打包模块，其由整合模块、Tray夹持整合臂、束带机、标签打印机；以及Tray上下料模块，其由第二天车对接平台、Tray搬运机械臂组成。