一种真空保持的精密转运装置

一种真空保持的精密转运装置，它涉及精密加工技术领域。本发明为解决现有超精密加工工件转运过程中容易造成工件表面损伤的问题。本发明包括真空吸盘、吸盘连接件、零点定位器、载物平台、零点定位器底座、气管快接头、机械臂快换接头组件和载物快换接头组件，吸盘连接件的下端与零点定位器的上部固接，吸盘连接件与零点定位器底座之间通过载物快换接头组件连接，吸盘连接件的上端与真空吸盘的下端固接，真空吸盘的上端设置有吸附端面，吸盘连接件与转运机械臂之间设置有机械臂快换接头组件，真空吸盘吸附端面的气道由先至后依次通过吸盘连接件和机械臂快换接头组件与机械臂气泵相连通。本发明用于工件精密转运。