摘要
本发明涉及一种探针接触阻抗实时监测与补偿方法、装置及存储介质。该方法：获取包含探针接触电阻值和接触力的第一测量数据集，并输入双层深度学习神经网络进行训练，得到探针接触阻抗监测模型；进行双参数故障检测，得到接触状态分类结果；基于接触状态分类结果生成二维补偿矩阵，并对第二测量数据集进行非线性映射计算，得到补偿系数；将补偿系数、原始探针结构参数和原始探针操作参数输入图注意力堆叠自编码器进行参数预测，得到目标探针结构参数和目标探针操作参数；进行云模型计算和赋权运算，得到目标补偿指令，目标补偿指令用于调节探针位置参数和探针压力参数。本发明的实施提高了芯片的探针测试的精度。
