摘要
一种芯片自动测试台,包括机架、安装台、芯片台、光纤台、探针台、水平相机组件和竖直相机组件。芯片台安装于安装台,包括真空吸台和推拉杆,用以吸附固定芯片并通过所述推拉杆将芯片推拉至指定位置;光纤台通过六轴电动位移台固定安装在安装台上,对称设置于芯片台两侧,用以夹持光纤,并将光纤定位调整至指定位置;探针台设置于光纤台两侧,用以与芯片相接触并进行测试和精准封装;水平相机组件固定在安装台上,用以定位光纤与芯片竖直方向上的位置;竖直相机组件与安装台固定连接,用以定位光纤与芯片水平方向上的位置。本发明克服现有技术的不足,提供一种集波导与光纤的模场匹配、精准对准测试为一体的一种芯片自动测试台。