基于多通道传感器的晶圆表面缺陷检测系统

本申请提出的基于多通道传感器的晶圆表面缺陷检测系统，通过数据采集模块，采集待测晶圆多维度信息，可检测多种类型缺陷，为生产质量把控提供更完整信息，有效降低因缺陷未检出导致的芯片性能问题与成品率下降风险；智能决策模块能自动学习与识别缺陷特征，精准判断缺陷类型与严重程度，减少人工干预与主观因素影响。数据拼接与加权融合技术使模型充分利用多传感器信息，适应复杂检测场景；结果存储与报告生成模块详细记录检测数据并生成报告，报告含缺陷位置、类型、尺寸、图像或信号特征及影响分析，直观展示检测结果，助用户快速了解晶圆质量状况，为后续决策提供有力依据。