一种用于化学气相沉积供气系统的温度控制方法及系统

本发明提供一种用于化学气相沉积供气系统的温度控制方法及系统，所述方法包括：将化学气相沉积供气系统划分为多个温控区域，采集每个温控区域的温度数据，并对采集的温度数据进行预处理；建立模型库和PID参数整定规则库；采用阶跃响应法进行离线模型辨识；从模型库中选择初始模型，采用递推最小二乘法进行在线模型辨识，实时更新模型参数；融合在线模型参数与模型库中对应的离线模型参数，根据融合后的模型参数，确定每个温控区域自适应PID控制器的参数；微控制器根据模型辨识结果和PID控制器参数，自动调整各温控区域PID控制器的输出，根据各温控区域PID控制器的输出，控制相应区域加热装置的加热功率，实现对各温控区域的温度控制。