一种PID自整定的真空压力调节装置

本发明提供了一种PID自整定的真空压力调节装置，包括人机界面，对外接口，控制单元，压力采集模块，PID自整定单元，动力执行单元和阀门；PID自整定单元实现压力的调节功能，区别于常规PID调节算法，具备自动修正PID参数的能力，输出阀位调整值，控制压力快速的接近目标位置，且降低稳态误差。动力执行单元接收目标阀位置，驱动电机带动减速器，运行到目标位置；阀门部门实现管道通流面积的控制，来调整管道的压力值。采用本发明装置，对于带有滞后性的真空压力调节工艺上，可以更准确地调节腔室的压力，稳态误差更小，减少波动带来的流体浪费，设备也可按照预设目标值脱离PLC独立运行，灵活性更强，可降低设备成本。