微加热器模块及其制作方法

本发明提供一种微加热器模块及其制作方法。微加热器模块包括一承载基板、一电极结构以及一加热结构。电极结构包括设置在承载基板上的一电路布局层、多个电极结构层以及多个绝缘覆盖层。加热结构覆盖电极结构。多个电极结构层被区分成多个第一电极结构层以及多个第二电极结构层。多个绝缘覆盖层被区分成多个第一绝缘覆盖层以及多个第二绝缘覆盖层。每一个第一绝缘覆盖层部分地覆盖相对应的第一电极结构层。每一个第二绝缘覆盖层部分地覆盖相对应的第二电极结构层。加热结构包括多个第一加热部以及多个第二加热部。每一个第一加热部电连接于相邻的两个第一电极结构层之间，每一个第二加热部电连接于相邻的第一电极结构层与第二电极结构层之间。