一种防形变垂直针卡

本实用新型公开了一种防形变垂直针卡，具体涉及针卡技术领域，包括用于加热芯片进行检测的升温组件；所述升温组件包括晶圆加热吸盘、晶圆件、曲形探针、陶瓷部件和电路转接板，所述晶圆件安装在晶圆加热吸盘顶部，所述曲形探针安装在晶圆件顶部，所述陶瓷部件安装在曲形探针顶部，所述电路转接板安装在陶瓷部件顶部；所述升温组件外部设有用于防止形变的功能组件；所述功能组件包括PCB板。本实用新型通过在PCB板内部安装有内层加热电极，使得电路转接板上下表面张力一致，以此可以抑制变形，达到稳定测试的目的，避免因电路转接板因受热不均而膨胀产生微小形变，避免造成曲型探针与电路转接板接触不良，而导致晶圆的不良率上升的情况。