摘要
本申请提供了一种生成晶圆图、测试晶圆的方法、装置及设备，包括：使晶圆的边缘位于第一图像采集设备的视野范围内，根据第一图像采集设备视野中心的位置与边缘圆弧上的点的位置关系，确定晶圆的圆心点的位置；以晶圆的圆心点的位置为圆心，根据芯片的尺寸以及第一模板的位置对晶圆上的芯片进行初步排布；基于第一模板的位置与第一沟槽的位置之间的偏差，对晶圆上排布的芯片的位置进行校正，生成晶圆图。本申请生成的晶圆图包括与实际芯片位置一一对应的位置信息，且不受芯片数量的影响，缩短生成晶圆图的时间，极大地提高了生成晶圆图的效率。
