器件模型的仿真方法、系统、装置、电子设备和存储介质

本发明公开了一种器件模型的仿真方法、系统、装置、电子设备和存储介质，涉及半导体、器件模型等技术领域，器件模型信息设置于目标对象中，器件模型的仿真方法应用于仿真软件，仿真软件包括工艺参数配置窗口，仿真方法包括：通过工艺参数配置窗口接收工艺参数；在接收到工艺参数的情况下，调用器件模型信息，其中，器件模型信息包括多个器件子模型信息；根据器件模型信息生成初始器件模型；将工艺参数传输给初始器件模型中的对应器件子模型中，生成器件模型；基于器件模型进行仿真。本发明的器件模型的仿真方法可在器件模型开发时，根据需求修改工艺参数，避免了传统模型开发中模型和工艺参数绑定，开发的模型只适用于单一工艺条件的弊端。