一种基于MEMS纳米减速器和谐波减速器键合混合减速装置

本发明涉及微型传动技术领域，具体为一种基于MEMS纳米减速器和谐波减速器键合混合减速装置，包括；制备硅晶圆混合键合样品和SOI晶圆混合键合样品；将硅晶圆混合键合样品和SOI晶圆混合键合样品进行清洗与氧化处理；将经清洗与氧化处理后的硅晶圆混合键合样品和SOI晶圆混合键合样品待键合进行光刻胶涂覆，曝光与显影；在曝光与显影的所述硅晶圆混合键合样品和SOI晶圆混合键合样品进行硬掩模制备，得到硅结构刻蚀；将硅晶圆混合键合样品和SOI晶圆混合键合样品得到硅结构刻蚀进行牺牲层释放、表面功能化、多层结构键合、驱动集成得到混合键合样品。本发明实现硅晶圆混合键合样品和SOI晶圆混合键合集成，同时搭建一种谐波减速器键合混合方法进行算力系统、AI协处理器、智能波形生成与存储系统设计AI算法聚合、强化学习系统、学习训练模块，形优化、自适应控制系统、异常检测、离线训练在线训练、端对端集成以及部署形成一种谐波减速器键合混合方法。