一种扫描电子显微镜聚焦方法、装置、设备及介质

本发明涉及电子显微镜技术领域，公开了一种扫描电子显微镜聚焦方法、装置、设备及介质.方法包括：通过扫描电子显微镜采集待测样品的样品图像；根据样品图像的灰度值计算样品图像的二次电子平均能量；基于二次电子平均能量和静电加速管的电子电荷量确定静电加速管电压值；基于静电加速管电压值配置扫描电子显微镜的静电加速管，以使扫描电子显微镜输出第一聚焦图像。本发明提高了扫描电子显微镜的聚焦准确率和聚焦效率。