一种氮化硅粉体生产设备

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一种氮化硅粉体生产设备
申请号:CN202510614453
申请日期:2025-05-14
公开号:CN120488741A
公开日期:2025-08-15
类型:发明专利
摘要
本发明涉及氮化硅生产设备技术领域,公开一种氮化硅粉体生产设备,包括炉体和加热体,加热体设于炉体内,加热体呈中空且两端敞开的柱状结构,加热体的数量为多个,多个加热体同轴且间隔设置,多个加热体围成加热腔,加热腔用于供制备氮化硅粉体的原料放置;在实际应用中,制备氮化硅粉体的原料置于加热腔内,即,多个加热体围设在原料的周侧,由此,加热体能够使加热腔内的原料均匀受热,这使得制备出来的氮化硅粉体的质量比较好。
技术关键词
氮化硅粉体 加热体 混合罐 纳米气凝胶 出料轨道 石墨烯涂层 炉体 加热部件 加热腔 加热件 保温层 机器人 气管 均匀受热 防腐涂层 框架 柱状 氢气 四边形
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