一种MEMS压力传感器及其制备方法

本发明属于微电子机械系统（MEMS）技术领域，且公开了一种MEMS压力传感器及其制备方法，包括微机电芯片，所述微机电芯片的外壁上滑动安装有固定盖，所述微机电芯片两侧的顶部分别固定设置有若干个引脚，所述固定盖的两侧外壁上分别开设有若干个安装槽，若干个所述安装槽的内壁上分别设置有相同的引导机构；通过设置引导机构，通过每个引脚都被两个引导板包围，确保了每个引脚都能被准确地定位和分离，有效防止了安装过程中的错位问题，还提供了额外的稳定性和准确性，引导板的引导功能，使得芯片能够顺利、无误地对接到主板上的预定位置，大幅提升了安装的精确度和可靠性，增强了引脚与主板连接的稳固性。