一种高精度压力敏感结构、传感器以及制作方法

本发明涉及电容式压力传感器技术领域，提供一种高精度压力敏感结构、传感器以及制作方法，所述结构包括上基板，设置有第一上电极以及检测通孔；感压膜，设置有第二上电极、第一下电极以及应力隔离结构，感压膜的一侧与上基板连接以形成与检测通孔连通的第一腔室，第二上电极与第一上电极均位于第一腔室内并且相对设置；下基板，设置有第二下电极，感压膜的另一侧与下基板连接以形成第二腔室，第二下电极与第一下电极均位于第二腔室内并且相对设置。通过感压膜上设置有应力隔离结构，使得应力被应力隔离结构所吸收，减小感压膜因应力所产生的形变，有利于防止零点漂移的问题，提高压力测量的准确性以及长期使用的稳定性。